檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積法"
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在我們改良有機金屬化學氣相沉積系統的氧氣環和噴頭後,得到的二氧化銥結果有明顯的改善了均勻性和再現性,並且已成功在SA(100)和SA(012)基板上使用兩種不同的前驅物(C6H7)(C8H12)Ir…
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使用[(CH3CH2)C5H4]2Ru當前驅物,於冷壁式有機金屬化學氣相沉積系統中成長二氧化釕奈米結構,其沉積在不同平面之基板上有不同的成長方向。使用場發射掃描式電子顯微鏡、X光繞射譜線,對二氧化釕…
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利用垂直流冷壁式的有激金屬化學汽相沈積法,我們已成功地在不同基板上成長出二氧化銥一維奈米晶體(包含奈米柱與奈米管)與薄膜。同時也藉由場發射掃瞄式電子顯微術(FESEM)、X光繞射術(XRD)與拉曼散…